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발카 제품번호 제품명칭 내용 용도
3DW 다이나믹벨로우즈 각종금속 박판을 단면이 S형 Y형 등의 링형상으로 성형후 내경 및 외경을 용접가공한 금속벨로우즈입니다. 실리콘 단결정제조장치(CZ법 FZ법)의 진공구동부씰 및 진공밸브의 씰
3DG 대구경게이트밸브 One Action씰기구를 채용하여 역압력대응이 가능한 게이트밸브입니다. 각종 액정제조장치 기타 진공장치 등의 챔버사이(대구경도어부).
도어 사이즈가 폭600mm이상의 장치에 대응.
3DU 다이나믹벨로우즈 실린더 다이나믹벨로우즈 M시리즈를 구동부씰에 사용한 클린성 내식성 내구성이 우수한 로드씰의 실리더입니다. 각종 반도체 제조잧이 각종 액정제조장치 기타 진공장치 등의 챔버내의 구동부.
3DU 클린볼트 JIS B 1176스테인레스강 육각구멍의 볼트
(강종A2)에 특수 연마처리를 행한 공기구멍이 달린 볼트로 방출가스량이 적고 표면에 유지분 등의 부착이 없습니다.
또한 표면조도가 매끄러워 물림현상이
일어나기 어렵습니다.
각종 반도체제조장치 각종 액정제조장치 기타 진공장치 분석기기 등의 진공영역
3640 메탈중공오링 금속관을 엔드리스가공한 금속중공오링입니다. 필요에 따라서는 도금 등의 표면코팅이 가능합니다. 불순물 주입장치,
성막장치 등
3645 트라이팩 코일스프링을 탄성요소로하여 이것을 알루미늄 등의 얇은 금속판으로 피복한 금속C링입니다.
3645LS 저체결트라이팩 낮은 체결부하로도 소정의 기밀성을 얻을 수 있도록 종래의 트라이팩의 상하씰면에 V홈 가공을 행하여 씰면의 적응도를 개선한 가스켓.
560 고순도산소
동가스켓
진공기기 주변의 배관이나 특히 베이커블 후렌지용 가스켓. 진공기기 주변의 배관이나 특히 베이커블 후렌지
4640 불소고무오링 불소고무를 단면 오링 형상으로 성형한 것입니다. 백색, 차색 등의 컬러오링도 있습니다. 실리콘 단결정제조장치, 에비터키셜장치, 전자빔노광장치, 플라즈마관련장치, 이온주입장치, 지공증착장치, 스퍼터링장치, 세정장치 등