| |
| 발카 제품번호 |
제품명칭 |
내용 |
용도 |
| 3DW |
다이나믹벨로우즈 |
각종금속 박판을 단면이 S형 Y형 등의 링형상으로 성형후 내경 및 외경을 용접가공한 금속벨로우즈 입니다. |
실리콘 단결정제조장치 （CZ법 FZ법）의 진공구동부씰 및 진공밸브의 씰 |
| 3640 |
메탈중공오링 |
금속관을 엔드리스가공한 금속중공오링입니다. 필요에 따라서는 도금 등의 표면코팅이 가능합니다. |
불순물 주입장치,
성막장치 등 |
| 3645 |
트라이팩 |
코일스프링을 탄성요소로하여 이것을 알루미늄 등의 얇은 금속판으로 피복한 금속C링입니다. |
| 3645LS |
저체결트라이팩 |
낮은 체결부하로도 소정의 기밀성을 얻을 수 있도록 종래의 트라이팩의 상하씰면에 V홈 가공을 행하여 씰면의 적응도를 개선한 가스켓. |
| 560 |
고순도산소동가스켓 |
진공기기 주변의 배관이나 특히 베이커블 후렌지용 가스켓. |
진공기기 주변의 배관이나 특히 베이커블 후렌지 |
| 4640 |
불소고무오링 |
불소고무를 단면 오링 형상으로 성형한 것입니다. 백색, 차색 등의 컬러오링도 있습니다. |
실리콘 단결정제조장치, 에비터키셜장치, 전자빔노광장치, 플라즈마관련장치, 이온주입장치, 지공증착장치, 스퍼터링장치, 세정장치 등 |
AC4640
 |
아마크리스탈오링 |
배합제를 사용하지 않아 매우 순결성이 우수합니다. 또한 금속에 대한 비점착성, 내플라즈마성이 뛰어납니다. |
F4640
|
플리드오링 |
기계적특성, 금속에 대한 비점착성이 우수합니다. |
반도체 액정관련 기기의 진공 게이트부의 씰, 반송벨트 |
FA4640
|
플리드 아마 |
기계특성, 금속에 대해서 비점착성, 내마모성에 우수한 검정색 불소고무입니다. |
주로 반도체·액정관련기기의 진공 게이트부에씰링용으로 사용합니다. |
LA4640
|
레이브 아마 |
내산소플라즈마성, 석영에 대해서 비점착성이 뛰어납니다. |
반도체·액정관련기기의 아싱장치내에 사용합니다. |
HA4640
|
하이렉아마 |
순결성, 내플라즈마성, 내열성, 금속에 대한 비점착성이 우수합니다.（고정부 전용） |
반도체 액정관련 기기의 드라이에칭 아싱장치, CVD장치 |
UA4640
|
알틱아마 |
순결성, 내플라즈마성, 내열성, 금속에 대한 비점착성이 우수합니다. |
SA4640
|
스포크 아마 |
순수성, 내라디칼성, 석영에 대해서 우수한 씰재입니다. |
UAF4640
|
알틱 아마-에프 |
내라디칼성, 내크랙성, 비점착에 우수하여 동적부위에 뛰어난 씰재입니다. |
DC4640
|
DC156 |
종래의 불소고무보다도 내라디칼성에 우수한 고정부위에 알맞은 씰재입니다. |
WD4640
|
아큐리AD |
산성용액에 대한 내성이 뛰어나 금속 유기물 용출량이 저감되므로 순결성이 좋습니다. |
웨이퍼, 글래스판세정장치, 스핀코터, 스핀디벨로퍼, 약액반송용기씰 등 |
WL4640
|
아큐리AL |
종래의 불소고무로는 사용이 곤란한 암모니아 등의 알칼리 용액에 대한 내성이 좋습니다. |
WO4640
|
아큐리SO |
케톤류, 에스텔류, 아민류 등의 극성유기용매에 대한 내성이 우수합니다. |
OZT4640
|
아큐리OZT |
오존가스오존수에 대한 내성이 뛰어나 금속 유기물 용출량이 저감되므로 순결성이 좋습니다. |
오존세정장치, 오존발생장치, 오존분석장치 등에 |
OZW4640
|
아큐리OZW |
오존가스오존수에 대한 내성이 우수합니다. OZT에 비하면 내열성이 향상되어 있습니다. |
| VP4640 |
후로리츠SB |
반도체,액정,관련화학공업관련, 전기,전자관련의 내약품성이 요구되는 개소에 사용하는 제품입니다. |
실리콘단결정제조장치, 에비터키셜장치, 전자빔노광장치, 플라즈마관련장치, 이온주입장치, 진공증착장치, 스퍼터링장치, 세정장치 등 |
| VPH4640 |
후로리츠HR |
반도체 액정관련기기（PE-CVD、LP-CVD、확산로 등）、또한 자동차, 화학공업, 에너지분야 등에서 내열성이 요구되는 개소에 사용하는 제품입니다. |
DS4640
|
DS403 |
퍼프로엘라스토머의 약점인 크랙발생을 억제한 내라디칼제에 뛰어난 씰재입니다. |
반도체·액정관련기기의 드라이엣칭·아싱장치내, CVD장치내의 높은 내라디칼성이 요구되는 개소에 사용합니다. |
VPTR4640
|
플로리츠TR |
최고의 내라디칼성을 가지고 있으면서 순수성, 저비틀림특성, 내열성도 우수합니다. |
UB4060
|
알틱아마본디드게이트씰 |
트랜스퍼 게이트금속에 알틱아마를 붙여 일체성형한 게이트 씰 플레이트입니다. |
반도체제조장치에 사용되는 오링장착타입의 트랜스퍼 게이트 씰 기구에서 오링씰재의 비틀림, 절단, 발진, 탈락 등의 문제를 해결하기 위해 사용합니다. |
FB4060
|
플리드본디드게이트씰 |
트랜스퍼게이트금속에 플리드아마를 붙여 일체성형한 게이트 씰 플레이트입니다. |
반도체제조장치에 사용되는 오링장착타입의 트랜스퍼 게이트 씰 기구에서 오링씰재의 비틀림, 절단, 발진, 탈락 등의 문제를 해결하기 위해 사용합니다.（부식유체가 존재하지 않는 환경에서만 사용 가능합니다.） |
7160
7803 |
발프론가공품
발프론절삭벨로우즈 |
PTFE가 갖는 내식 비오염 내열성을 살려, 반도체제조장치, 도금조 등의 용액의 저장이나 처리용의 조, 이화학기기, 실험기기에 사용하는 제품입니다. |
세정공정, 에칭장치, 산화, 훠트링라피, 확산, 이온주입장치의 액액 및 특수가스 등이 사용되는 개소（용기, 튜브, 배관기재） |
（7BR163）
（7BR164）
（7BR166）
（7BR563）
（7BR564）
（7BR573） |
발프론일체성형품 |
HOME > 제품소개> 반도체/FPD제조장치
