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발카 제품번호 제품명칭 내용 용도
3DW 다이나믹벨로우즈 각종금속 박판을 단면이 S형 Y형 등의 링형상으로 성형후 내경 및 외경을 용접가공한 금속벨로우즈 입니다. 실리콘 단결정제조장치 (CZ법 FZ법)의 진공구동부씰 및 진공밸브의 씰
3640 메탈중공오링 금속관을 엔드리스가공한 금속중공오링입니다. 필요에 따라서는 도금 등의 표면코팅이 가능합니다. 불순물 주입장치,
성막장치 등
3645 트라이팩 코일스프링을 탄성요소로하여 이것을 알루미늄 등의 얇은 금속판으로 피복한 금속C링입니다.
3645LS 저체결트라이팩 낮은 체결부하로도 소정의 기밀성을 얻을 수 있도록 종래의 트라이팩의 상하씰면에 V홈 가공을 행하여 씰면의 적응도를 개선한 가스켓.
560 고순도산소동가스켓 진공기기 주변의 배관이나 특히 베이커블 후렌지용 가스켓. 진공기기 주변의 배관이나 특히 베이커블 후렌지
4640 불소고무오링 불소고무를 단면 오링 형상으로 성형한 것입니다. 백색, 차색 등의 컬러오링도 있습니다. 실리콘 단결정제조장치, 에비터키셜장치, 전자빔노광장치, 플라즈마관련장치, 이온주입장치, 지공증착장치, 스퍼터링장치, 세정장치 등
AC4640
아마크리스탈오링 배합제를 사용하지 않아 매우 순결성이 우수합니다. 또한 금속에 대한 비점착성, 내플라즈마성이 뛰어납니다.
F4640
플리드오링 기계적특성, 금속에 대한 비점착성이 우수합니다. 반도체 액정관련 기기의 진공 게이트부의 씰, 반송벨트
FA4640
플리드 아마 기계특성, 금속에 대해서 비점착성, 내마모성에 우수한 검정색 불소고무입니다. 주로 반도체·액정관련기기의 진공 게이트부에씰링용으로 사용합니다.
LA4640
레이브 아마 내산소플라즈마성, 석영에 대해서 비점착성이 뛰어납니다. 반도체·액정관련기기의 아싱장치내에 사용합니다.
HA4640
하이렉아마 순결성, 내플라즈마성, 내열성, 금속에 대한 비점착성이 우수합니다.(고정부 전용) 반도체 액정관련 기기의 드라이에칭 아싱장치, CVD장치
UA4640
알틱아마 순결성, 내플라즈마성, 내열성, 금속에 대한 비점착성이 우수합니다.
SA4640
스포크 아마 순수성, 내라디칼성, 석영에 대해서 우수한 씰재입니다.
UAF4640
알틱 아마-에프 내라디칼성, 내크랙성, 비점착에 우수하여 동적부위에 뛰어난 씰재입니다.
DC4640
DC156 종래의 불소고무보다도 내라디칼성에 우수한 고정부위에 알맞은 씰재입니다.
WD4640
아큐리AD 산성용액에 대한 내성이 뛰어나 금속 유기물 용출량이 저감되므로 순결성이 좋습니다. 웨이퍼, 글래스판세정장치, 스핀코터, 스핀디벨로퍼, 약액반송용기씰 등
WL4640
아큐리AL 종래의 불소고무로는 사용이 곤란한 암모니아 등의 알칼리 용액에 대한 내성이 좋습니다.
WO4640
아큐리SO 케톤류, 에스텔류, 아민류 등의 극성유기용매에 대한 내성이 우수합니다.
OZT4640
아큐리OZT 오존가스오존수에 대한 내성이 뛰어나 금속 유기물 용출량이 저감되므로 순결성이 좋습니다. 오존세정장치, 오존발생장치, 오존분석장치 등에
OZW4640
아큐리OZW 오존가스오존수에 대한 내성이 우수합니다. OZT에 비하면 내열성이 향상되어 있습니다.
VP4640 후로리츠SB 반도체,액정,관련화학공업관련, 전기,전자관련의 내약품성이 요구되는 개소에 사용하는 제품입니다. 실리콘단결정제조장치, 에비터키셜장치, 전자빔노광장치, 플라즈마관련장치, 이온주입장치, 진공증착장치, 스퍼터링장치, 세정장치 등
VPH4640 후로리츠HR 반도체 액정관련기기(PE-CVD、LP-CVD、확산로 등)、또한 자동차, 화학공업, 에너지분야 등에서 내열성이 요구되는 개소에 사용하는 제품입니다.
DS4640
DS403 퍼프로엘라스토머의 약점인 크랙발생을 억제한 내라디칼제에 뛰어난 씰재입니다. 반도체·액정관련기기의 드라이엣칭·아싱장치내, CVD장치내의 높은 내라디칼성이 요구되는 개소에 사용합니다.
VPTR4640
플로리츠TR 최고의 내라디칼성을 가지고 있으면서 순수성, 저비틀림특성, 내열성도 우수합니다.
UB4060
알틱아마본디드게이트씰 트랜스퍼 게이트금속에 알틱아마를 붙여 일체성형한 게이트 씰 플레이트입니다. 반도체제조장치에 사용되는 오링장착타입의 트랜스퍼 게이트 씰 기구에서 오링씰재의 비틀림, 절단, 발진, 탈락 등의 문제를 해결하기 위해 사용합니다.
FB4060
플리드본디드게이트씰 트랜스퍼게이트금속에 플리드아마를 붙여 일체성형한 게이트 씰 플레이트입니다. 반도체제조장치에 사용되는 오링장착타입의 트랜스퍼 게이트 씰 기구에서 오링씰재의 비틀림, 절단, 발진, 탈락 등의 문제를 해결하기 위해 사용합니다.(부식유체가 존재하지 않는 환경에서만 사용 가능합니다.)
7160
7803
발프론가공품
발프론절삭벨로우즈
PTFE가 갖는 내식 비오염 내열성을 살려, 반도체제조장치, 도금조 등의 용액의 저장이나 처리용의 조, 이화학기기, 실험기기에 사용하는 제품입니다. 세정공정, 에칭장치, 산화, 훠트링라피, 확산, 이온주입장치의 액액 및 특수가스 등이 사용되는 개소(용기, 튜브, 배관기재)
(7BR163)
(7BR164)
(7BR166)
(7BR563)
(7BR564)
(7BR573)
발프론일체성형품